質(zhì)量流量測量儀用于在工藝技術(shù)領(lǐng)域直接測量氣體通過量。在體積流量測量儀中，還需要測量溫度和壓力或密度，因為氣體的密度或體積會因壓力的不同而發(fā)生變化。與之相反，質(zhì)量流量的測量并不受壓力和溫度影響。8701 型數(shù)字式質(zhì)量流量測量儀具有一個以硅芯片為基礎(chǔ)的傳感器（參見第 2 頁的描述），該傳感器直接處于旁路管道中。通過這種方式可以達(dá)到一個非常短的設(shè)備反應(yīng)時間。當(dāng)前流量會被作為模擬的標(biāo)準(zhǔn)信號輸出或者通過 RS 通訊輸出。可針對兩種不同的氣體對型號 8701 進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可在兩者之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。根據(jù)用戶要求的不同，在選擇與介質(zhì)相接觸的接頭的材料時應(yīng)確保，可利用所有的普通工藝氣體運(yùn)行設(shè)備。典型用途是，在檢驗機(jī)構(gòu)、環(huán)境技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、分析結(jié)束中測量氣體流量。
這種傳感器在所謂的CTA中起著熱膜風(fēng)速計的作用
工作模式(恒溫風(fēng)速表)。要做到這一點，兩個
溫度系數(shù)的電阻器
直接在介質(zhì)流動和三個電阻器位于流動的外面是
連接在一起形成一座橋。
氣體流動中的個電阻(RT)
)測量流體溫度，
而第二個，低值電阻(RS)是加熱，以保持它
在一個固定的，與流體溫度相關(guān)的預(yù)先設(shè)定的超溫。
維持這一溫度所需的加熱電流是一種測量方法
流動的氣體所帶走的熱量，代表主熱量
測量。
在MFC內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)?shù)牧髁空{(diào)節(jié)并進(jìn)行校準(zhǔn)
高質(zhì)量的流量標(biāo)準(zhǔn)保證了氣體的每次流動質(zhì)量
單元可以從原始信號中得到，具有較高的精度。
質(zhì)量流量傳感器是根據(jù)熱原理工作的
提供獨(dú)立于它的質(zhì)量流有什么好處嗎
壓力和溫度。
總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到一個小的，具體來說
設(shè)計旁路通道，保證層流條件。
所述傳感器單元是嵌入該流道壁面的芯片。
該芯片由MEMS技術(shù)生產(chǎn)，包含一個加熱電阻和
兩個溫度傳感器(熱電傳感器)對稱排列
加熱器的上游和下游。的壓差
熱流計是通過流量傳感器測量質(zhì)量流量的一種方法。
校準(zhǔn)過程實現(xiàn)了傳感器的 分配
通過設(shè)備向總流量發(fā)送信號。